電子顯微鏡，簡稱電鏡，電子顯微鏡是以電子束為照明源，通過電子流對樣品的透射或反射及電磁透鏡的多級放大后在熒光屏上成像的大型儀器，經(jīng)過五十多年的發(fā)展已成為現(xiàn)代科學技術中不可缺少的重要工具。電子顯微鏡技術的應用是建立在光學顯微鏡的基礎之上的，那么電子顯微鏡成像原理是怎樣的呢？下面微谷光電小編來給大家介紹。

　　電子顯微鏡成像原理是怎樣的：

　　電子顯微鏡通過用聚焦電子束掃描樣品的表面來產(chǎn)生樣品表面的圖像。 

　　電子與樣品中的原子相互作用，產(chǎn)生包含關于樣品的表面測繪學形貌和組成的信息的各種信號。電子束通常以光柵掃描圖案掃描，并且光束的位置與檢測到的信號組合以產(chǎn)生圖像。

　　電子顯微鏡可以實現(xiàn)分辨率優(yōu)于1納米。樣品可以在高真空，低真空，濕條件（用環(huán)境掃描電子顯微鏡）以及寬范圍的低溫或高溫下觀察到。

　　最常見的電子顯微鏡模式是檢測由電子束激發(fā)的原子發(fā)射的二次電子。可以檢測的二次電子的數(shù)量，取決于樣品測繪學形貌，以及取決于其他因素。

　　通過掃描樣品并使用特殊檢測器收集被發(fā)射的二次電子，創(chuàng)建了顯示表面的形貌的圖像。它還可能產(chǎn)生樣品表面的高分辨率圖像，且圖像呈三維，鑒定樣品的表面結構。

　　以上內容就是對電子顯微鏡成像原理是怎樣的介紹了，電子顯微鏡是20世紀的重大科學技術發(fā)明，是利用電子與物質作用所產(chǎn)生之訊號監(jiān)定微區(qū)域晶體結構，微細組織，化學成份，化學鍵結和電子分布情況的電子光學裝置。常用的有透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡。與光學顯微鏡相比電子顯微鏡用電子束代替了可見光，用電磁透鏡代替了光學透鏡并使用熒光屏將肉眼不可見電子束成像。